單晶硅爐生產(chǎn)用控溫制冷機組 氣體回收制冷機組以硅油、氟化液、乙二醇水溶液等為載冷劑，溫度范圍可在-150度至+300度，溫度穩定性±0.1℃等可選。
單晶硅爐生產(chǎn)用控溫制冷機組 氣體回收制冷機組適用于半導體、芯片、晶圓、電子元件、集成電路板等行業(yè)。
單晶硅爐生產(chǎn)用控溫制冷機組 氣體回收制冷機組在以下工藝中的作用：
硅片制造：切片后的晶圓需要用CMP使硅片表面光滑，研磨和泵送會(huì )產(chǎn)生熱量，須用冷卻器消除這些熱量；
沉積：根據沉積過(guò)程的不同需要用冷水機進(jìn)行冷卻或加熱，溫度直接影響晶圓的均勻性和沉積深度；
光刻：把掩膜版上的精細圖形通過(guò)光線(xiàn)的爆光印制到硅片上，需要非常高的穩定性確保鋒利的掩膜邊緣；
刻蝕：利用化學(xué)或物理方法將晶圓表面附著(zhù)的不必要的材質(zhì)進(jìn)行去除，溫度控制對蝕刻均勻性非常重要；
離子注入：離子源的的能量需要去除以確保參雜離子穩定注入，冷卻器可解決離子注入機的冷卻需求；
清洗：清洗設備占芯片制造工序步驟的30%以上，需要對清洗設備進(jìn)行控溫以確保其穩定運行；
電鍍：將電鍍液中的金屬離子電鍍到品圓表面形成金屬互聯(lián)需要冷卻裝置來(lái)保持穩定性和高重復性結果;
測試：測試設備貫穿于集成申路生產(chǎn)制造流程(包括IC設計、制造以及封測)需要對設備進(jìn)行溫度控制。
我司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)單晶硅爐生產(chǎn)用控溫制冷機組 氣體回收制冷機組等控溫設備，接受非標定做。
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